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臭氧发生器，主要由壳体、进气管、出气管以及位于壳体内的臭氧激发设备组成。通过在壳体内设置围绕臭氧激发设备的螺旋形气道，使进入壳体内的气体必须沿气道向出气管移动，增加了气体接受臭氧激发设备照射的时间，从而使臭氧的浓度加大。当需要更高浓度的臭氧时，通过将相邻的臭氧发生器上的出气管和进气管串接实现臭氧发生器之间的串联，从而将臭氧发生器产生的臭氧再送入下一个臭氧发生器中，经过臭氧激发设备的反复照射，从而产生更高浓度的臭氧。
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